白光干涉儀

       白光干涉測量專用于非接觸式快速測量，精密零部件之重點部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓及臺階段差尺寸，其測量精度可以達到納米級！目前，在3D測量領域，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一。

技術特點

白光干涉作為一種廣泛應用的三維表面形貌測量技術，其縱向分辨率可達到亞納米級別。

視場內信息采集與數據處理同時進行，大面積區域的高度信息采集時間短。

多用于科學研究與質量管理領域，典型應用包括不同表面粗糙度樣品的三維表面形貌測量（如晶片結構、鏡面、玻璃與金屬）、臺階高度測定和曲面精度測量（如微型透鏡）。

Smart系列白光干涉三維輪廓儀創新性地整合白光干涉技術，自主研發的SmartWLI 軟件可以對整個測量過程進行監測與控制。

其核心算法基于長期研發與測量經驗，具備高效、穩定、精度高等特點。

SmartWLI軟件，用于形貌測量及通過直接接口輸出三維數據進入MountainsMap圖片形貌圖片處理軟件，包括文件編制MountainsMap圖片形貌軟件，用于圖片處理，數據分析與生成報告。

廣泛的運用領域：

白光干涉優勢特點： 

1， 非接觸測量 ：      非接觸三維表面輪廓測量。

2， 重復性好：           噪音小，測量重復性好。

3， 納米級分辨率：    Z軸分辨率最高可達0.1nm

4， 點云數量多：       測量的點云數多：一個面最多可以達到500萬個點。

5， XY分辨率小：      點間距小，XY分辨率高，大范圍內可高精度測量。

6， 視野范圍大：       多種視野范圍可供選擇，快速切換物鏡變換視野。

7， 測量速度快：       采集速度、處理和輸出數據速度快。

8， 可在線測量 ：      測量速度快，可實現在線高速檢測。

9， 角度特性好：       超越傳統角度極限，可以測量更大傾斜角的產品，漫反射面可測接近90度的斜面。

10，軟件功能強大：   軟件包MountainsMap強大的分析軟件功能可用于復雜的測量任務，如粗糙度，表面結構，微觀幾何形狀和輪廓。 自動化有多種選擇：可使用SDK，I/O模塊和幾條工業產線解決方案。

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